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观察窗 抽真空管道 组成\炉筒：包括取光孔\下炉筒：包括抽真空管道\底座机架：全铸铁机架和底座\坩埚下传动装置：主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成\分水器已经水路布置：包括分水器，进水水管。翻板阀提拉头：主要由盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成\副室：主要是副室筒以及上下法兰组成\ 炉盖：副室连接法兰若干胶管 水管卡套等\氩气管道布置：质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件\ 真空泵以及真空除尘装置：油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等\电源以及电控柜：电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线。
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技术领域：本发明涉及一种直拉式单晶生长炉。背景技术：图1为切克劳斯基(直拉)法硅单晶的单晶炉剖面示意图，图1-2 中，l为炉筒，2为保温盖，3为保温盖，4为保温材津牛，5为保温罩，6为 加热器，7为水套，8为石英埚，9为导流筒，IO为护盘，12为氩气输 入管，11为分布有孔11-1的环形气体分布器，13为排气口。名称：直拉式单晶生长炉的方法直拉式单晶生长炉的方法直拉硅单晶在生长过程中需要向炉内不断充入氩气尤其是坩埚 支持器下方的空间较大，导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出， 热能消耗量较大，另外，现有技术中，从氩气输入管向炉内充入氩气时， 充气气压为1. 3x 103pa，氩气流量为40L/min，因此其氩气消耗量大，生产 成本较高。设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统 ，并在实际生产中获得成应用。2 设计的关键图 1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速 n经减速器，齿轮齿条减速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺 ，要求提拉速度 V能在 ( 0 .2～ 1 0 .0 ) mm/h内无级调节 ，它相对于给定信号的线性精度 ± 2 %。
